晶圆轮廓仪

  • 商品介绍
  • 规格参数
  • 晶圆轮廓仪WEP-150EN/200EN/300EN系列可以非接触自动测定2"- 6"、4"- 8"、8"- 12"晶圆的边缘倒角形状以及切口面倒角形状的尺寸。选配自动上下料单元还可以实现全自动测量。


    适用于2” 到 8”晶圆 

    • 适合于各种材质的晶圆

    • 可测晶圆边缘倒角形状 

    • 可测晶圆切口面倒角形状 

    • 非接触测量,无污染,无损伤

    • 可自动存储测量结果 

    • 操作界面友好,使用方便 

    • 针对晶圆测量设计,专业化水平高