采用双面无接触的方式对晶圆进行清洗或蚀刻的专用设备，适用于2"-6"晶圆、4″- 8″晶圆、8″- 12″晶圆。
工艺过程可编程，适应不同工艺需求
可对正面及背面同时进行清洗或腐蚀
采用双手指机械臂传送晶圆
采用双面无基础清洗载物台
配备药液控温单元
配备自动配药单元
可选配PVA刷洗功能
可选配兆声单元
可选配自动灭火单元
